台积电不用新一代EUV光刻机!2023年的1nm再说
快科技2月8日消息, Intel已于日前接受了ASML的第一台新一代高NA EUV光刻机 ,但是台积电一直不为所动,可能要到1nm工艺时代才会跟进。
Intel计划将高NA EUV光刻机用于Intel 18A后的制程节点,也就是超过1.8nm,时间大概在2026-2027年。
Intel此前公布的路线图上,18A之后已经安排了三个新的制程节点,但尚未具体命名。
基辛格透露 其中一个相当于1.5nm工艺 ,预计命名为15A,将在德国工厂量产。
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