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5月22日消息，据外媒报道称，ASML声称可以远程瘫痪旗下售出的光刻机，这引来网友的围观。

现在，报道中有给出了更多有趣的细节，比如ASML表示可以远程瘫痪（remotely disable）相应机器，包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。

消息人士称，EUV需要频繁维护，如果没有ASML提供的备件，这些机器很快就会停止工作。

此外，EUV的现场维护要求很高，它们被安置在无尘室内，需要工程师穿着特殊的套装以避免污染。